Service d’optimisation

Service pour l’optimisation du procédé de sputtering

Nous avons acquis un savoir-faire dans l’optimisation des circuits magnétiques des cathodes magnétrons. Pressentant que beaucoup de problèmes dans le procédé de dépôt sous vide étaient liés au circuit magnétique, et que la productivité des magnétrons pouvait être améliorée en optimisant les circuits magnétiques, nous avons mis au point des outils spécifiques pour simuler et optimiser les magnétrons.

Nous offrons les services suivants :

• Diagnostic sur site de circuits magnétiques avec notre machine de cartographie.
• Optimisation par l’insertion de shunt dans la backing plate
• Design de circuits magnétiques spécifiques, destiné à augmenter le bombardement électronique , l’utilisation de la cible, …

Combiné à notre machine de mesure magnétique, nous avons mis au point un programme d’analyse du champ magnétique qui permet de prévoir l’uniformité des couches. Les données sont présentées en 2D et en 3D, avec une courbe montrant les régions où le champ magnétique doit être modifié.

Cette option rend l’optimisation des barres magnétiques beaucoup plus simple et plus rapide.